Crystal perfection of silicon single crystals grown by the magnetic-field-applied Czochralski method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1986, Vol.133 (1), p.171-174
Hauptverfasser: KAWADO, S, MARUYAMA, T, SUZUKI, T, ISAWA, N, HOSHI, K
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.2108515