Polysiloxanes with pendant cinnamoyl groups: as a negative deep UV resist for bilayer application

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1989-08, Vol.136 (8), p.2350-2354
Hauptverfasser:	ROSILIO, C, ROSILIO, A, SERRE-MOUANDA, B
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Physicochemistry of polymers Polymers and radiations Properties and characterization
Online-Zugang:	Volltext
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