InP etch pit morphologies revealed by novel HCl-based etchants

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1989-06, Vol.136 (6), p.1804-1806
Hauptverfasser: HUO, D. T. C, WYNN, J. D, YAN, M. F, WILT, D. P
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.2097016