Characterization of poly-buffered LOCOS in manufacturing environment

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1989-12, Vol.136 (12), p.3815-3820
Hauptverfasser:	GULDI, R. L, MCKEE, B, DAMMINGA, G. M, YOUNG, C. Y, BEALS, M. A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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