In situ laser light scattering. I: Detection of defects formed during silicon molecular beam epitaxy

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Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1989-10, Vol.136 (10), p.3083-3088
Hauptverfasser:	PIDDUCK, A. J, ROBBINS, D. J, CULLIS, A. G, GASSON, D. B, GLASPER, J. L
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Defects and impurities in crystals microstructure Direct observation of dislocations and other defects (etch pits, decoration, electron microscopy, x-ray topography, etc.) Exact sciences and technology Physics Structure of solids and liquids crystallography
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