XPS study of polyimide H-film after Heat-treatment and laser processing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1989-10, Vol.136 (10), p.2979-2982
Hauptverfasser: NAGARKAR, P. V, SICHEL, E. K
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.2096386