Trench etches in silicon with controllable sidewall angles

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1988-08, Vol.135 (8), p.2058-2064
Hauptverfasser:	CARLILE, R. N, LIANG, V. C, PALUSINSKI, O. A, SMADI, M. M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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