Selective epitaxial trench (SET)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1988-07, Vol.135 (7), p.1808-1812
1. Verfasser:	SILVESTRI, V. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Integrated circuits Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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