X-ray photoelectron spectroscopy analysis of changes in InP and InGaAs surfaces exposed to various plasma environments

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1988-05, Vol.135 (5), p.1201-1206
Hauptverfasser:	THOMAS, J. H. III, KAGANOWICZ, G, ROBINSON, J. W
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Mechanical and acoustical properties adhesion Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Solid-fluid interfaces Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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