Topological effects regarding edge structures in CVD processes

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1990-06, Vol.137 (6), p.1939-1941
Hauptverfasser:	SCHOLTE, J, SCHRÖDER, K.-W, MORGENSTERN, G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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