Spin-on glass curing by rapid thermal annealing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1990-12, Vol.137 (12), p.3923-3925
Hauptverfasser:	UOOCHI, Y, TABUCHI, A, FURUMURA, Y
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Defects and impurities in crystals microstructure Doping and impurity implantation in iii-v and ii-vi semiconductors Exact sciences and technology Physics Structure of solids and liquids crystallography
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