Diazo-β-diketone photoactive compounds for KrF excimer laser resists

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1990-11, Vol.137 (11), p.3561-3568
Hauptverfasser:	HORIGUCHI, R, ONISHI, Y, HAYASE, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry Exact sciences and technology General and physical chemistry Photochemistry Physical chemistry of induced reactions (with radiations, particles and ultrasonics)
Online-Zugang:	Volltext
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