Photoelectrochemical etching of three-dimensional structures in silicon

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1990-11, Vol.137 (11), p.3514-3516
1. Verfasser:	EDDOWES, M. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry Electrochemistry Exact sciences and technology General and physical chemistry Photoelectrochemistry. Electrochemiluminescence
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!