Selective Ion Beam Etching of Al2 O 3 Films
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Journal of the Electrochemical Society 1991-09, Vol.138 (9), p.2744-2748 |
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| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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