Selective Ion Beam Etching of Al2 O 3 Films

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1991-09, Vol.138 (9), p.2744-2748
Hauptverfasser:	Kawabe, Takashi, Fuyama, Moriaki, Narishige, Shinji
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!