Shape of thick positive photoresist patterns

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1991-03, Vol.138 (3), p.822-826
Hauptverfasser:	KAWABE, T, ITO, T, FUYAMA, M, NARISHIGE, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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