Transport phenomena in tungsten LPCVD in a single-wafer reactor

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1991-02, Vol.138 (2), p.509-517
Hauptverfasser:	KLEIJIN, C. R, HOOGENDOORN, C. J, HASPER, A, HOLLEMAN, J, MIDDELHOEK, J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Chemical industry and chemicals Exact sciences and technology Industrial chemicals Inorganic industry
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!