Anodic oxidation of porous silicon layers formed on lightly p-doped substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1991-11, Vol.138 (11), p.3450-3456
Hauptverfasser:	BSIESY, A, GASPARD, F, HERINO, R, LIGEON, M, MULLER, F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry Electrochemistry Exact sciences and technology General and physical chemistry Kinetics and mechanism of reactions
Online-Zugang:	Volltext
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