Comparison of CF 3Cl and C 2 F 6 + Cl2 Plasma Chemistry by Power Modulation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1992-05, Vol.139 (5), p.1414-1420
Hauptverfasser:	Kiss, L. D. B., Sawin, H. H.
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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