The effectiveness of aqueous cleaning for the removal of evaporated iron and copper from silicon surfaces

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1992-04, Vol.139 (4), p.1195-1199
Hauptverfasser:	KNIFFIN, M. L, BEERLING, T. E, HELMS, C. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!