Reliability implications of lateral alkali-ion migration in MOS integrated circuits

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1994-11, Vol.141 (11), p.3250-3253
Hauptverfasser: SCHNABLE, G. L, SCHLESIER, K. M, WU, C. P, COMIZZOLI, R. B
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.2059313