Thin‐Oxide Dielectric Strength Improvement by Adding a Phosphonic Acid Chelating Agent into NH 4 OH ‐ H 2 O 2 Solution

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1994-10, Vol.141 (10), p.L139-L142
Hauptverfasser:	Akiya, Hideo, Kuwano, Shuji, Matsumoto, Tohru, Muraoka, Hisashi, Itsumi, Manabu, Yabumoto, Norikuni
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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