Hydrofluoric Acid Etching of Silicon Dioxide Sacrificial Layers: I . Experimental Observations

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1994-01, Vol.141 (1), p.264-269
Hauptverfasser:	Monk, David J., Soane, David S., Howe, Roger T.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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