An experimental study of megasonic cleaning of silicon wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1995-08, Vol.142 (8), p.2812-2817
Hauptverfasser:	BUSNAINA, A. A, KASHKOUSH, I. I, GALE, G. W
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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