Adsorption species of transition metal ions on silicon wafer in SC-1 solution

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1995-09, Vol.142 (9), p.3104-3109
Hauptverfasser:	MORI, Y, UEMURA, K, SHIMANOE, K, SAKON, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!