Pitting of the silicon layer of poly buffered LOCOS stack

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1995-05, Vol.142 (5), p.1680-1688
Hauptverfasser:	OBENG, Y. S, BRADY, D. C, VITKAVAGE, S. C, TAYLOR, J. A, HANSON, K. J, SAPJETA, B. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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