Photochemical dry stripping of silicon nitride films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1995-11, Vol.142 (11), p.3919-3923
Hauptverfasser:	GRAY, D. C, BUTTERBAUGH, J. W, HIATT, C. F, LAWING, A. S, SAWIN, H. H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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