Indium tin oxide dry etching using HBr gas for thin-film transistor liquid crystal displays

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1995-07, Vol.142 (7), p.2470-2473
Hauptverfasser:	TAKABATAKE, M, WAKUI, Y, KONISHI, N
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Display Electronics Exact sciences and technology
Online-Zugang:	Volltext
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