Performance impact of monolayer coating of polysilicon micromotors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1995-04, Vol.142 (4), p.1278-1285
Hauptverfasser:	DENG, K, COLLINS, R. J, MEHRAN MEHREGANY, SUKENIK, C. N
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electrical engineering. Electrical power engineering Electrical machines Exact sciences and technology Special rotating machines
Online-Zugang:	Volltext
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