Electrical characterization of thin SiO2 films on silicon created by anodic oxygen corona discharge processing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1998-08, Vol.145 (8), p.2937-2943
Hauptverfasser:	SAYEDI, S. M, LANDSBERGER, L. M, KAHRIZI, M, BELKOUCH, S, LANDHEER, D
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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