Interface states distribution in electrical stressed oxynitrided gate-oxide

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1998-07, Vol.145 (7), p.2489-2493
Hauptverfasser: BELKOUCH, S, NGUYEN, T. K, LANDSBERGER, L. M, AKTIK, C, JEAN, C, KAHRIZI, M
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.1838666