Reduction in Contact Resistance with In Situ  O 2 Plasma Treatment

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1998-07, Vol.145 (7), p.2480-2485
Hauptverfasser: Yonekura, Kazumasa, Sakamori, Shigenori, Kawai, Kenji, Miyatake, Hiroshi
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.1838664