Wear-contact problems and modeling of chemical mechanical polishing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1998-06, Vol.145 (6), p.2100-2106
Hauptverfasser:	CHEKINA, O. G, KEER, L. M, LIANG, H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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