Electrical characterization of oxynitrided gate dielectrics under constant-current Fowler-Nordheim stress

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1997-09, Vol.144 (9), p.3299-3304
Hauptverfasser:	NGUYEN, T. K, LANDSBERGER, L. M, BELKOUCH, S, JEAN, C
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Testing, measurement, noise and reliability
Online-Zugang:	Volltext
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