The evolution of (001) Si/SiO2 interface roughness during thermal oxidation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1997-08, Vol.144 (8), p.2886-2893
Hauptverfasser: FANG, S. J, CHEN, W, YAMANAKA, T, HELMS, C. R
Format: Artikel
Sprache:eng
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