Plasma charging damage and water-related hot-carrier reliability in the deposition of plasma-enhanced tetraethylorthosilicate oxide

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1997-07, Vol.144 (7), p.2525-2530
Hauptverfasser:	LIN, Y. M, JANG, S. M, YU, C. H, LEI, T. F, CHEN, J. Y
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Testing, measurement, noise and reliability
Online-Zugang:	Volltext
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