Mechanism of Tungsten Atom Formation in Tungsten Etchback Using SF 6/Ar Helicon Plasma

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1997-07, Vol.144 (7), p.2442-2447
Hauptverfasser:	Choi, Chang Ju, Seol, Yeo Song, Kwon, O Sung, Baik, Ki‐Ho
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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