A one-step shallow trench global planarization process using chemical mechanical polishing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1997-05, Vol.144 (5), p.1838-1841
Hauptverfasser:	BOYD, J. M, ELLUL, J. P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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