Importance of high energy photons in the curing of spin-on low dielectric constant interconnect materials

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1997-02, Vol.144 (2), p.669-673
Hauptverfasser:	SHARANGPANI, R, CHERUKURI, K. C, SINGH, R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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