The prevention of Si pitting in hydrofluoric acid cleaning by additions of hydrochloric acid

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1997-02, Vol.144 (2), p.652-657
Hauptverfasser:	CHUNG, B. C, MARSHALL, G. A, PEARCE, C. W, YANDERS, K. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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