First observations of 0.1 μm size particles on Si wafers using atomic force microscopy and optical scattering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1996-12, Vol.143 (12), p.4125-4128
Hauptverfasser:	FUJINO, N, KARINO, I, KOBAYASHI, J, KURAMOTO, K, OHOMORI, M, YASUTAKE, M, WAKIYAMA, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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