Thermal Oxynitridation of Silicon in N 2 O Ambients

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1996-10, Vol.143 (10), p.3372-3376
Hauptverfasser:	Kim, Keunjoo, Lee, Young Hee, Suh, Moon‐Suhk, Youn, Chang‐Joo, Lee, Kee‐Bang, Lee, Hyung Jae
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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