Investigation of island formation during through-mask electrochemical micromachining

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1996-07, Vol.143 (7), p.2305-2309
Hauptverfasser:	SHENOY, R. V, DATTA, M, ROMANKIW, L. T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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