Nonparticulate origins of light point defects on polished silicon wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1996-06, Vol.143 (6), p.2068-2074
Hauptverfasser:	SHEN, J. J, COOK, L. M, PIERCE, K. G, LONCKI, S. B
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Composition defects and impurities Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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