Photoassisted liquid-phase deposition of silicon dioxide

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Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1996-06, Vol.143 (6), p.2044-2048
Hauptverfasser:	HUANG, C.-T, CHANG, P.-H, SHIE, J.-S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Liquid phase epitaxy deposition from liquid phases (melts, solutions, and surface layers on liquids) Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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