Deposition of diamond from a plasma jet with dichlorobenzene as carbon source

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1996-06, Vol.143 (6), p.2003-2010
Hauptverfasser:	KOTAKI, T, HORII, N, ISONO, H, MATSUMOTO, O
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Ion and electron beam-assisted deposition ion plating Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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