Surface characteristics of (100) silicon anisotropically etched in aqueous KOH

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1996-04, Vol.143 (4), p.1372-1375
Hauptverfasser:	VU, Q.-B, STRICKER, D. A, ZAVRACKY, P. M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Interface structure and roughness Materials science Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface cleaning, etching, patterning Surface treatments Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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