Ultraviolet depth lithography and galvanoforming for micromachining

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1996, Vol.143 (1), p.237-244
Hauptverfasser:	LÖCHEL, B, MACIOSSEK, A, QUENZER, H. J, WAGNER, B
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronic equipment and fabrication. Passive components, printed wiring boards, connectics Electronics Exact sciences and technology
Online-Zugang:	Volltext
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