Electroluminescent SrS and BaS thin films deposited by ALD using cyclopentadienyl precursors
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Veröffentlicht in: | Journal of the Electrochemical Society 2004, Vol.151 (10), p.H221-H225 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0013-4651 1945-7111 |
DOI: | 10.1149/1.1787633 |