Electroluminescent SrS and BaS thin films deposited by ALD using cyclopentadienyl precursors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 2004, Vol.151 (10), p.H221-H225
Hauptverfasser: IHANUS, Jarkko, HÄNNINEN, Timo, HATANPÄÄ, Timo, RITALA, Mikko, LESKELÄ, Markku
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.1787633