High Thermal Stability of Ni Monosilicide from Ni-Ta Alloy Films on Si(100)
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Veröffentlicht in: | Electrochemical and solid-state letters 2003-10, Vol.6 (10), p.G122 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1099-0062 |
DOI: | 10.1149/1.1601813 |